Κίνδυνοι ελαττωμάτων γκοφρέτας από πτητική εξαγωγή αερίων τυπικών πλακών θέρμανσης
Οι διεργασίες επιμετάλλωσης γκοφρετών ημιαγωγών μπροστινού-άκρου απαιτούν εξαιρετική καθαρότητα μπάνιου με σχεδόν-μηδενικές πτητικές οργανικές και ανόργανες προσμείξεις. Τα μακροπρόθεσμα-δεδομένα παρακολούθησης καθαρότητας καθαρού χώρου που συλλέγονται από εργαστήρια κατασκευής τσιπ καταγράφουν επίμονα ελαττώματα μικρο-σωματιδίων και υπολείμματα οργανικής μεμβράνης σε επιφάνειες γκοφρέτας όταν αναπτύσσονται συμβατικές πλάκες θέρμανσης πολυμερούς με επίστρωση ή χαμηλής ποιότητας-. Οι περισσότερες ομάδες ποιότητας καθαρού δωματίου εγκαθιστούν συστήματα διαδικτυακής διήθησης πολλαπλών-σταδίων για την απομάκρυνση των αιωρούμενων ρύπων, αλλά παραβλέπουν την αργή συνεχή εκροή αερίου που απελευθερώνεται από-χαμηλής ποιότητας θερμαντικές πλάκες σε λύσεις επιμετάλλωσης γκοφρετών υψηλής-θερμοκρασίας. Οι συμβατικές σύνθετες-επικαλυμμένες θερμαντικές πλάκες περιέχουν υπολειμματικά σκληρυντικά, πλαστικοποιητές και θραύσματα πολυμερών χαμηλού{12}}μοριακού-βάρους. Υπό παρατεταμένη{15}}βύθιση υψηλής θερμοκρασίας, αυτές οι πτητικές ουσίες διαχωρίζονται από την επιφάνεια της πλάκας, διαλύονται σε υγρό επιμετάλλωσης και επιπλέουν ως μικρο-σταγονίδια σε κυκλώματα γκοφρέτας. Ακόμη και τα τυπικά μη καθαρισμένα πάνελ πολυμερούς απελευθερώνουν ίχνη αέριων ακαθαρσιών, οι οποίες αλλοιώνουν το χημικό δυναμικό της επιμετάλλωσης και προκαλούν αστοχίες ανοικτού/βραχυκυκλώματος σε χαρακτηριστικά μικρο{18}}βακριδίων. Η μόλυνση από τα αέρια γίνεται μη αναστρέψιμη για προηγμένους κόμβους κάτω των 7 nm με εξαιρετικά λεπτές δομές κυκλώματος.
Δύο βασικοί δείκτες σχεδιασμού υλικού χαμηλής-εξαερίου
Η 100% παρθένα σύνθεση πρώτης ύλης υψηλού-μοριακού- βάρους και η άνευ ραφής πλήρως πυροσυσσωματωμένη χύτευση καθορίζουν από κοινού τα επίπεδα απαέρωσης των θερμαντικών πλακών σε λουτρά καθαρισμού ημιαγωγών. Το επικαλυμμένο, ανακυκλωμένο ή χαμηλής ποιότητας υλικό θέρμανσης πολυμερών-δεν μπορεί να εξαλείψει την απελευθέρωση πτητικών, ενώ οι θερμαντικές πλάκες από PTFE εξαιρετικά-καλούπιου πληρούν τις προδιαγραφές χαμηλής-εξαέρωσης ημιαγωγών. Οι ανακυκλωμένες ή αναμεμειγμένες πολυμερείς πρώτες ύλες διατηρούν υπολειμματικά μονομερή και πρόσθετα επεξεργασίας που εξατμίζονται σε υψηλές θερμοκρασίες μπάνιου. Οι πολυεπίπεδες συγκολλημένες δομές επίστρωσης περιέχουν συγκολλητικούς διαλύτες που διαρρέουν συνεχώς αέρια ρύπους για μεγάλους κύκλους παραγωγής. Οι θερμαντικές πλάκες από παρθένο πλήρως συντηγμένο PTFE υιοθετούν ρητίνη{10}}ελεύθερης υψηλής{11}}καθαρότητας χωρίς πτητικά υλικά πλήρωσης, σχηματίζοντας συμπαγείς επιφάνειες χωρίς πόρους-που εμποδίζουν πλήρως τις οδούς εκροής οργανικών αερίων.
Πίνακας σημείων αναφοράς για Πλάκες Θέρμανσης Χαμηλής Εξαερίωσης Ημιαγωγών
Τα δεδομένα δοκιμής βύθισης καθαρού χώρου υψηλής-θερμοκρασίας ποσοτικοποιούν τον συνολικό όγκο απαερίου και τα ποσοστά απόρριψης πλακιδίων τεσσάρων κατασκευών πλακών θέρμανσης
Πίνακας 1: Εξαιρετικά-Καθαρό χαμηλό-Σημείο αναφοράς εξαγωγής αερίων για πλάκες θέρμανσης
| Κατασκευή Πλακών Θέρμανσης | Συνολική Μαζική Απώλεια Εξαερίου | Επίπεδο οργανικής πτητικής απελευθέρωσης | Εβδομαδιαία συσσώρευση μόλυνσης από άνθρακα στο μπάνιο | Wafer Micro-Ποσοστό απόρριψης ελαττωμάτων |
|---|---|---|---|---|
| Εποξειδικά-μεταλλικά πάνελ βάσης | Υψηλή απώλεια μάζας | Σοβαρή έκλυση VOC | Ταχεία συσσώρευση άνθρακα | 16%–23% |
| Πάνελ ανακυκλωμένου μικτού πολυμερούς | Μέτρια απώλεια μάζας | Πτητικά μεσαίου ίχνους | Αργή συσσώρευση άνθρακα | 8%–14% |
| Τυπικά μη συντετημένα φύλλα PTFE | Χαμηλή απώλεια μάζας | Μικρό αέριο χαμηλού μοριακού- | Αμελητέα ίχνη άνθρακα | 3%–7% |
| Πλήρως συντηγμένα παρθένα πάνελ υπερ-καθαρού PTFE | Μη ανιχνεύσιμη απώλεια μάζας | Μηδενικά μετρήσιμα VOC | Καμία μόλυνση από άνθρακα | Κάτω από 1,1% |
Οδηγίες επιλογής εξοπλισμού καθαρισμού χώρου ημιαγωγών
Οι προηγμένες γραμμές επιμετάλλωσης γκοφρέτας για κόμβους τσιπ υπο-7 nm πρέπει να αναπτύσσουν αποκλειστικά πλήρως συντηγμένες πλάκες θέρμανσης με χαμηλή-αέρια εξαγωγής για την εξάλειψη πτητικών πηγών μόλυνσης. Τα εργοστάσια που εξακολουθούν να χρησιμοποιούν επικαλυμμένες ή ανακυκλωμένες πλάκες θέρμανσης πολυμερούς χρειάζονται πρόσθετη διήθηση προσρόφησης ενεργού άνθρακα και καθημερινή μερική αντικατάσταση μπάνιου, αυξάνοντας σημαντικά τα αναλώσιμα και τα έξοδα εργασίας. Οι εστίες μαζικής παραγωγής που στοχεύουν σε υψηλή απόδοση γκοφρέτας αποκτούν αποφασιστικά πλεονεκτήματα καθαρότητας και κόστους με την υιοθέτηση-ελεύθερων αδρανών πλακών θέρμανσης. Τα δεδομένα ελέγχου απόδοσης του Cleanroom δείχνουν ότι οι γραμμές παραγωγής που είναι εξοπλισμένες με θερμαντικές πλάκες μη-χαμηλής-αέριωσης δαπανούν 3,1–4,6 φορές περισσότερο για τον καθαρισμό του μπάνιου και την επανεπεξεργασία πλακιδίων σε σύγκριση με εγκαταστάσεις που χρησιμοποιούν θερμαντικές πλάκες υπερ-καθαρού PTFE με την ίδια ημερήσια παροχή.
Σύνοψη & Υποστήριξη προσαρμοσμένων πλακών θέρμανσης με χαμηλή-εξαέρωση
Τα υπολειμματικά πρόσθετα, οι κόλλες και οι ανακυκλωμένες πρώτες ύλες σε συνηθισμένες θερμαντικές πλάκες δημιουργούν συνεχή πτητική εξαγωγή αερίων, εισάγοντας οργανικούς ρύπους και μικρο{0}}ελαττώματα στα εξαιρετικά-λουτρά επιμετάλλωσης γκοφρέτας ημιαγωγών. Οι ομάδες ποιότητας και προμηθειών fab μπορούν να ανατρέξουν στον πίνακα αναφοράς βαθμολόγησης χαμηλής-εκροής αερίων για να αντικαταστήσουν το υπάρχον θερμικό υλικό για ροές εργασιών κατασκευής τσιπ υψηλής-καθαρότητας. Προσαρμοσμένα πρόσθετα-ελεύθερα πλήρως συντηγμένα παρθένα PTFE θερμαντικές πλάκες μπορούν να κατασκευαστούν για προηγμένες δεξαμενές επιμετάλλωσης γκοφρετών ημιαγωγών. Οι μηχανικοί εξαιρετικά-καθαρού υλικού διεργασίας μπορούν να παρέχουν πλήρεις αναφορές δοκιμών εκροής αερίων υψηλής-θερμοκρασίας και συστάσεις για το μέγεθος του εξοπλισμού αφού υποβάλουν το εύρος θερμοκρασίας λουτρού επιμετάλλωσης, τον καθημερινό χρόνο συνεχούς λειτουργίας και τα πρότυπα καθαρότητας κόμβων διεργασίας ημιαγωγών.
